显微维氏硬度计主要由以下几个部分组成：
主机：
测砧（压头）：主机的重要部件之一，通常由锥形钨钢头和中心导向装置组成。这个部分用于将特定形状的压头（根据被测试件的不同可以选择不同形状的压头）施加到待测试件的表面上。
传感器：用于感知并记录压头在材料表面产生的压痕信息。
计算机：内置计算器能够自动计算硬度值并显示在LCD屏上。计算机还控制整个测试过程，包括试验力的施加、保荷时间的控制以及测量次数的记录等。
显微镜：
是观察试样表面痕迹的关键部件，通常由镜筒、目镜、物镜和调焦装置组成。显微镜的放大倍数可以根据需要进行调整，以提供更清晰的压痕成像。
外壳：
保护内部的仪器零件，通常由底座、柱体和距离调节手轮等部分组成。
控制系统：
包括薄膜键盘，用于输入压痕对角线长度等参数。LCD屏则用于显示试验方法、试验力、试验力保荷时间、测量次数等信息。
光源系统：
冷光源，使用寿命长达10万小时。同时，也可以按用户要求选用卤素灯光源。
连接接口：
显微维氏硬度计提供可供连接数码相机和CCD摄像头的螺纹接口，方便接入维氏硬度专用的测量软件系统。
测量软件系统：
可选配CCD图象自动测量装置和LCD视频测量装置，用于自动测量压痕的大小并计算硬度值。
