分辨率高,低加速电压下实现高分辨成像
电磁复合物镜,减小像差,显著提高低电压下的分辨率,而且可观察磁性样品
高压隧道技术(SuperTunnel) ,在隧道中的电子能保持高能量,减少了空间电荷效应,低电压分辨率得到保证
电子光路无交叉,有效的降低系统像差,提升分辨能力
水冷恒温物镜,保证物镜工作的稳定性、可靠性和可重复性
磁偏转六孔可调光阑,自动切换光阑孔,无需机械调节,实现高分辨率观察或大束流分析模式快速切换
关键参数 | 分辨率 | 1.0 nm @ 15 kV,SE 0.8 nm @ 30 kV,STEM |
加速电压 | 20 V ~ 30 kV | |
放大倍率 | 1 ~ 2,500,000 x | |
电子枪类型 | 肖特基场发射电子枪 | |
样品室 | 真空系统 | 全自动控制 |
摄像头 | 双摄像头 (光学导航+样品仓内监控) | |
样品台行程 | X: 120 mm,Y: 115 mm,Z: 50 mm (* 可选配超大仓体版本) | |
探测器和扩展 | 标配 | 镜筒内高角度电子探测器 侧向低角度电子探测器 |
选配 | 插入式背散射电子探测器 轨迹球 & 旋钮控制板 | |
软件 | 语言 | 中文 |
操作系统 | Windows | |
导航 | 光学导航、手势快捷导航 | |
自动功能 | 自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散 |